單晶爐(lu)在運作(zuò)過程中(zhōng)因爲一(yi)直都會(huì)處于高(gāo)溫的狀(zhuang)态下，對(dui)其他的(de)零部件(jiàn)要求高(gao)且嚴格(ge)，因爲需(xū)要維持(chi)長時間(jian)的工作(zuo)，所以需(xu)要特别(bié)注意定(dìng)期進行(háng)必要的(de)維護保(bǎo)養。

1、坩埚(guō)驅動裝(zhuang)置要求(qiu)的運動(dong)精度比(bi)較高，是(shì)設備的(de)核心運(yun)動部件(jian)，應重點(dian)維護。坩(gān)埚軸是(shì)石墨坩(gān)埚的支(zhī)撐軸，應(ying)随時檢(jian)查其冷(leng)卻水的(de)情況，以(yǐ)免燒損(sun)。

坩埚驅(qu)動采用(yòng)滾珠絲(sī)杠和直(zhi)線導軌(guǐ)結構，是(shi)坩埚驅(qū)動的關(guan)鍵部件(jian)，需保持(chi)清潔，嚴(yán)禁灰塵(chén)、雜物附(fù)着，并定(ding)期塗抹(mo)潤滑脂(zhī)。

2、籽晶旋(xuán)轉及提(tí)升機構(gou)的維修(xiu)

籽晶旋(xuán)轉及提(tí)升機構(gou)也是單(dan)晶爐的(de)關鍵部(bu)件，該部(bu)件運行(háng)的好壞(huài)直接影(ying)響單晶(jīng)的生長(zhang)。因此，也(ye)須重點(diǎn)維護。

卷(juàn)輪箱是(shì)籽晶提(tí)升的核(hé)心，卷輪(lun)箱内的(de)零件一(yi)般情況(kuàng)下不得(de)随意拆(chāi)除，必須(xū)拆除時(shi)，重新安(ān)裝時必(bì)須保證(zheng)軟軸對(dui)中。軟軸(zhou)鋼絲繩(sheng)在使用(yong)中不準(zhǔn)有死彎(wān)現象，并(bìng)在每次(cì)開爐時(shi)檢查鋼(gāng)絲繩是(shi)否燒損(sǔn)，如有燒(shao)損應及(jí)時修整(zhěng)或更換(huàn)新的鋼(gang)絲繩。

除(chu)了上面(miàn)的兩點(dian)之外，在(zài)每次開(kai)爐前應(yīng)檢查水(shui)路系統(tǒng)是否暢(chàng)通，水溫(wēn)檢測傳(chuán)感器安(an)裝是否(fou)正常。發(fa)現有結(jié)垢時應(ying)及時清(qīng)理。在拉(la)晶過程(cheng)中，若發(fa)現水壓(yā)報警或(huo)漏水時(shi)要及時(shi)采取措(cuo)施。真空(kong)管道的(de)過濾網(wǎng)每爐要(yao)清理一(yi)次，抽氣(qì)管道每(měi)20～30爐清理(lǐ)一次。

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