單(dān)晶棒等徑控(kong)制是單晶爐(lú) 控制的重點(diǎn)。單晶直徑在(zài)生長過程中(zhōng)課受到溫度(du)、提拉速度與(yǔ)轉速、坩埚跟(gen)蹤速度與轉(zhuǎn)速、生長物理(li)環境、保護氣(qì)體的流速與(yǔ)溫度、冷卻水(shui)流的流速與(yǔ)溫度等因素(sù)的影響。歸納(na)起來，無外乎(hū)是熱場波動(dòng)和生長速度(dù)變化兩大類(lei)。因此，爐内熱(re)場設置，生長(zhang)溫度補償、速(sù)度等參數選(xuǎn)配是控制單(dan)晶外形的基(jī)本條件，爐内(nei)熱場和生長(zhǎng)速度的精确(què)控制是單晶(jing)等徑控制的(de)重點。由于影(yǐng)響單晶等徑(jìng)生長的因素(sù)較多，控制對(duì)象數學模型(xing)難以建立，且(qiě)這些因素本(běn)身以及它們(men)之間的關系(xi)是模糊的、不(bú)确定的。系統(tǒng)具有非線性(xìng)、時變性和大(da)慣性的特征(zhēng)。因而，單晶爐(lu)單晶等徑生(sheng)長控制采用(yòng)模糊控制策(ce)略是比較合(hé)适的。

    單晶等(děng)徑生長在忽(hu)略一些幹擾(rao)因素影響情(qíng)況下，主要受(shou)溫度和拉速(sù)影響。如果恒(heng)定溫度而僅(jin)從生長速度(dù)控制直徑，外(wài)形固然可以(yǐ)得到快速保(bao)證，但生長速(su)度的大幅度(du)調節會造成(chéng)單晶微觀質(zhi)量缺陷。反之(zhi)，如果恒定速(sù)度而僅從溫(wēn)度調節來控(kong)制直徑，由于(yu)這種控制系(xi)統是一個緩(huǎn)慢時變，并且(qiě)具有确定性(xing)擾動和随機(ji)幹擾的非最(zui)小相位系統(tong)，用一般常規(guī)儀表控制手(shou)段來實現自(zì)動控徑極爲(wei)困難。隻有對(dui)溫度和生長(zhǎng)速度進行綜(zong)合控制，才能(neng)完成等徑自(zì)動控制。