|
新聞中心
高(gao)溫真空爐運用(yong)在藍寶石結晶(jing)[2014/8/5]高(gāo)溫真空爐在現(xian)代工業中應用(yòng)于很多場合,如(ru)藍寶石晶體生(shēng)長爐、高溫燒結(jie)爐等。藍寶石晶(jing)體生長爐通過(guò)對溫度的精确(que)控制來實現從(cóng)晶體化料、引晶(jing)(或将籽晶熔化(hua)到合适的範圍(wei))、長晶、退貨冷卻(que)的各個過程控(kong)制,晶體隻有按(an)合适的冷卻速(su)度進行冷卻結(jié)晶,才能長出高(gāo)質量的藍寶石(shí)晶體。高溫燒結(jié)爐要通過對溫(wen)度的較爲準确(què)的控制,才能燒(shāo)結出高質量的(de)、穩定的燒結産(chǎn)品。因此,高溫真(zhēn)空爐的爐溫測(ce)量、監控是控制(zhi)産品質量的重(zhong)要手段。而在自(zì)動化生産的情(qing)況下,且溫度的(de)控制精确度要(yào)求較高時,則要(yào)求能對溫度進(jìn)行長時間連續(xu)準确的測量,以(yi)實現對溫度的(de)實時控制。高溫(wēn)真空環境下的(de)長時間連續準(zhǔn)确測量,是一個(gè)行業難題,目前(qián)爲止還沒有發(fa)現這方面的實(shí)際應用。 以藍寶(bǎo)石晶體生長爐(lú)爲例,藍寶石晶(jing)體生長爐是一(yī)種用于藍寶石(shí)單晶生長的常(cháng)用設備,通常包(bao)括坩埚、加熱器(qì)、金屬保溫瓶等(deng),加熱器通電以(yǐ)後,将在坩埚外(wai)部形成溫度場(chǎng),溫度場對坩埚(guō)進行加熱。泡生(shēng)法藍寶石單晶(jing)聲場中,加熱溫(wen)度的變化對晶(jing)體的生長影響(xiang)很大,合适的引(yin)晶溫度、合理的(de)降溫控制程序(xu)都有利于提高(gāo)晶體生長質量(liàng),晶體生長速率(lü)會随加熱溫度(dù)的降低而快速(sù)增加。制定适合(he)晶體生長的降(jiang)溫程序,沒有一(yī)定的溫度測量(liàng)技術做參考,晶(jing)體品質很難保(bǎo)證。因此,一般采(cǎi)用紅外測量技(ji)術做參考,晶體(ti)品質很難保證(zhèng)。因此,一般采用(yòng)紅外測溫儀測(ce)量坩埚的溫度(dù),以獲得較爲準(zhǔn)确的測量溫度(du)值。但是,在藍寶(bao)石單晶生長過(guo)程中,藍寶石單(dān)晶爐的溫度較(jiao)高,;安保室晶體(tǐ)以及熱場的金(jīn)屬揮發物容易(yi)凝結在溫度較(jiao)低的測溫玻璃(lí)表面,遮擋紅外(wai)測溫儀有效測(cè)量用光波,使紅(hóng)外測溫儀讀數(shù)失真。爲提高溫(wēn)度測量的準确(què)性,目前通常采(cǎi)用少量惰性氣(qi)體吹掃測溫玻(bo)璃法。
下一篇(piān):單晶爐單(dān)晶等徑生長的(de)控制策略
相關(guan)新聞
|