根據真(zhen)空基本(běn)公式p=Q/S可(ke)知,要獲(huo)得超高(gao)真空即(jí)低壓力(lì)p,有降低(dī)氣載Q和(hé)增大泵(bèng)抽速S兩(liang)大途徑(jing)。真空技(ji)術發展(zhan)到目前(qián)的水平(píng),增大各(gè)種泵抽(chōu)速的研(yán)究已無(wú)太大進(jin)展。而且(qiě)在細長(zhǎng)型真空(kōng)系統(如(rú)粒子儲(chǔ)存環、加(jiā)速器束(shu)流傳輸(shu)線等)中(zhōng),泵的有(you)效抽速(sù)受流導(dao)的限制(zhi),即使采(cǎi)用大抽(chōu)速的泵(bèng),也不會(huì)對系統(tong)真空度(du)産生大(dà)的影響(xiǎng)。從而可(ke)知,獲得(de)超高真(zhen)空的最(zuì)有效途(tu)徑是降(jiàng)低氣載(zǎi)。一個超(chāo)高真空(kōng)系統中(zhong),材料的(de)出氣往(wang)往是氣(qì)載的主(zhǔ)要來源(yuán)。從經濟(jì)角度和(hé)空間位(wei)置等方(fāng)面考慮(lǜ),如果采(cǎi)用特殊(shu)工藝能(neng)夠使材(cai)料出氣(qì)率降低(di)1個數量(liàng)級,比增(zēng)加10倍的(de)泵要經(jing)濟、合理(lǐ)得多。因(yin)此,研究(jiu)先進工(gong)藝對材(cái)料進行(háng)處理,獲(huò)得盡可(ke)能低的(de)材料出(chū)氣率一(yi)直是超(chao)高真空(kong)領域的(de)一個重(zhòng)要研究(jiu)課題。20世(shi)紀70年代(dài),用真空(kōng)爐高溫(wēn)烘烤去(qù)除冶煉(liàn)時溶解(jiě)在材料(liào)内部的(de)各種氣(qi)體(以H2爲(wèi)主),從而(er)獲得低(dī)出氣率(lü)的除氣(qi)工藝就(jiu)在國外(wài)衆多粒(lì)子加速(su)器真空(kong)系統中(zhōng)得到了(le)廣泛的(de)應用,也(ye)獲得了(le)預想的(de)結果。國(guó)内許多(duō)真空設(shè)備元器(qi)件(如濺(jiàn)射離子(zi)泵泵芯(xīn)、泵殼等(deng))也采用(yòng)真空爐(lu)除氣的(de)方法來(lái)獲得較(jiào)高的極(jí)限真空(kōng)(大于5×10-9Pa)。但(dàn)由于條(tiáo)件的限(xian)制,國内(nèi)許多超(chāo)高真空(kong)裝置對(duì)于其系(xì)統中的(de)真空室(shi)、真空管(guan)道等元(yuan)件極少(shao)采用真(zhēn)空爐高(gao)溫除氣(qi)的方法(fa),大多用(yong)真空清(qing)洗加現(xiàn)場烘烤(kǎo)(小于350℃)工(gōng)藝來獲(huo)得超高(gāo)真空。

    真(zhēn)空爐 高(gao)溫除氣(qi)工藝對(dui)于降低(dī)不鏽鋼(gāng)出氣率(lǜ)具有非(fei)常顯著(zhe)的效果(guo)。一個金(jin)屬密封(fēng)、設計合(he)理的真(zhēn)空系統(tong),如果要(yào)求的真(zhen)空度在(zai)10-6～10-8Pa之間,采(cai)用真空(kōng)爐高溫(wēn)除氣工(gong)藝對各(gè)真空室(shi)進行處(chu)理,可以(yǐ)不用現(xiàn)場烘烤(kao)就可以(yǐ)達到。二(èr)者相比(bi),高溫除(chu)氣工藝(yi)所需費(fèi)用比現(xiàn)場烘烤(kǎo)裝置所(suǒ)需費用(yong)要低,而(ér)且一勞(lao)永逸,不(bú)必每次(ci)暴露大(da)氣都要(yao)再烘烤(kǎo)一次。更(geng)重要的(de)是不必(bi)爲烘烤(kǎo)裝置留(liú)空間,這(zhè)對于設(shè)計空間(jiān)有限的(de)系統是(shi)十分有(yǒu)利的。

    對(dui)于q≤12-07Pa·L/s·cm2的系(xi)統,僅靠(kào)現場烘(hong)烤或僅(jin)靠真空(kong)爐高溫(wēn)除氣都(dou)是不行(háng)的,必須(xū)二者結(jie)合才能(néng)實現。由(you)于采用(yong)了 真空(kōng)爐 高溫(wen)除氣工(gōng)藝,同時(shi)又采取(qǔ)了現場(chǎng)烘烤措(cuo)施,使樣(yàng)機真空(kōng)系統達(dá)到5×12-07Pa的水(shui)平,并爲(wèi)整個HIRFL-CSR真(zhēn)空系統(tong)達到6×10-9Pa的(de)真空度(dù)提供了(le)可靠的(de)保證。