首先在單(dan)晶爐作業前，要(yao)做好準備工作(zuò)，然後開始進行(háng)熱态檢漏，檢漏(lòu)的要求在3分鍾(zhōng)以上，同時要做(zuo)好記錄。接下來(lái)将單晶和籽晶(jīng)取出，冷卻後要(yao)對單晶進行參(cān)數檢測，同樣需(xū)要做好記錄。接(jie)着将石墨件取(qǔ)出做好冷卻工(gong)作，之後要對進(jìn)行重量檢測并(bìng)做記錄。然後在(zài)通過真空過濾(lü)器來進行清洗(xi)，真空泵油的檢(jian)查更換。完成以(yǐ)上步驟，就要開(kāi)始對石墨，單晶(jing)爐的室内進行(hang)清洗了，知道确(què)認沒有污物爲(wèi)止。接下來就是(shi)對石墨的，石英(yīng)坩埚，籽晶進行(hang)安裝，然後進行(hang)抽空繼續檢漏(lòu)。最後引晶，縮頸(jǐng)，放肩，轉肩，然後(hòu)等徑生長。最後(hòu)單晶爐 就進入(ru)收尾工作了。